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芜湖映日科技有限公司研发中心总监曾墩风:600mm靶材已出样,可供10.5代线使用

作者:林美炳来源:发布时间:2018-10-25 09:35我要评论

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芜湖映日科技有限公司研发中心总监曾墩风出席会议并发表了名为《旋转ITO靶材技术创新及产业化》的主题演讲。他表示,现在正在研发600mm的靶材,样品已经做出来了,可以直接供10.5代线使用。

曾墩风表示,芜湖映日科技有限公司相对于TFT行业来说是非常小的企业,也是非常新的企业,它得益于TFT行业近几年大力推广国产化而得到了发展。厦门映日科技成立于2007年,芜湖映日科技成立于2015年。映日科技是一家集研发、生产、销售服务于一体的靶材高新技术企业,公司拥有一个专业的靶材研发中心,具有很强的自主研发能力,目前拥有自主研发专利60几项。

曾墩风指出,2015年芜湖映日科技自建立以来,导入国外先进技术,引进高端设备,建立ITO平面、旋转靶材生产线。通过一年的发展,产品迅速在国内TP行业得到验证,并大量推广开来。映日科技ITO平面靶材产能20吨/年,旋转靶材2019年产能将达到100吨/年。ITO靶材成分是氧化锡、氧化银。映日科技ITO平面靶材现在规格最大可以做到800×300mm,旋转靶材厚度可以做到15mm。现在靶材长度基本在200~300mm,映日科技450mm靶材已经批量生产并出货,现在正在研发600mm的靶材,样品已经做出来了,可以直接供10.5代线使用。

曾墩风强调,为了保证产品均一性,映日科技对产品的PH值、硬度、密度等方面做了管控。ITO粉末对保证PH值非常重要。他们做的粉末都是球形的,但要做成球形非常难,ITO靶材粉末很容易做成苹果型、蘑菇型。ITO靶材粉如果不是球形,流动性不好。如果是球形的话,只要抓一把放在盘子里,分配率非常均匀。ITO均一性还与密度有关,映日科技ITO靶材密度都达到6.73g/cm3以上。映日科技会分析每一批次产品的波动。此外,ITO靶材表面粗糙度也会影响到客户靶材的应用。


责任编辑:赵强

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